该方式真空度大，吸附可靠，但需配真空泵系统成本较高。
1-电机 2-真空泵 3-电磁阀
4-电磁阀 5-吸盘 6-通大气
工作原理：取物件时，吸盘5与物件表面接触，单头电磁阀3得电，切换到左位，单头电磁阀4失电，保持图示右位，电机1工作，带动真空泵2工作，抽出吸盘内腔及其管路空气，形成真空，将物件吸附住。释放物件时，单头阀3失电，切换到右位，真空管路与吸盘断开，单头阀4得电，切换到左位，真空吸盘5的内腔与大气相通，内腔真空迅速破坏。
各元件的作用：
电机 系统动力源，驱动真空泵
真空泵 抽取管路空气，形成真空。
电磁阀 切换真空源与吸盘腔的管路连通状态
电磁阀 大气与吸盘腔的管路连通状态
吸盘 吸附物件的作业件，形成真空腔
通大气 与大气的接口
喷气式
喷气式吸盘利用流体力学原理，压缩空气高速流经喷嘴时，其出口处气压低于吸盘腔内气压，于是吸盘腔内气体被高速气流带走而形成负压。
该方式产生真空的压缩空气工厂内易获得，成本较低，市场上有各种规格的商品化的真空发生器出售。
压缩空气由进口9进入，吸取物件时电磁阀8动作切换至上位，高速压缩空气通过消音器1排出至大气，管路中配置有单向阀2，保证压缩空气不会进入吸盘，而吸盘中的空气可以进入主通道，压力开关3用于检测真空管路真空度的大小，根据设定的上下限发出相应的电气信号，滤网4保证工件表面的异物不会进入真空管路，压缩空气流经管路喷嘴时，将吸盘及管路中的空气带出，形成负压将物件吸附。释放物件时，电磁阀8复位至下位，电磁阀7动作至上位压缩空气通过调试阀6进入真空吸盘内腔，破坏吸盘真空，调试阀6调节进入吸盘腔压缩空气的速率，控制真空破坏的速率。
